主要规格及技术指标

X&Y range 30 µm (closed-loop)
X&Y sensor noise <60 pm
Out of plane motion <3 nm in Z over XY range
Z range >5 µm
Z sensor noise <50 pm
Sample size up to 15 mm diameter, 7 mm thick
DC height noise <15 pm
AC height noise <15 pm

主要功能及特色

​​高分辨率成像​​：
能够实现原子级分辨率成像，适用于材料和生命科学研究。
支持多种成像模式，如频率调制（FM）模式、接触模式和轻敲模式。
​​快速扫描能力​​：
使用小光斑激光模块和高带宽扫描仪，实现快速扫描。
支持在多种模式下进行高速扫描，如AM-FM粘弹性映射模式和压电力显微镜（PFM）。
​​多功能测量模式​​：
包括所有标准成像模式，如接触模式、轻敲模式和非接触模式。
提供多种高级测量模式，如表面电位（KPFM）、纳米操纵和纳米光刻、压电力显微镜（PFM）等。
​​定量纳米力学分析​​：
提供多种粘弹性测量技术，如AM-FM粘弹性映射模式、接触共振粘弹性映射模式和快速力映射模式。
可以测量存储模量和损耗模量，适用于从软聚合物到硬金属材料的广泛样品。
​​高灵敏度电学测量​​：
支持多种电学测量技术，如静电力显微镜（EFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM）、导电AFM（CAFM）和扫描微波阻抗显微镜（sMIM）。可以测量样品的表面电位、功函数、直流电流和介电常数等。

主要附件及配置

无